1. Tindif tat-tisħin bil-vakwu
Il-biċċa tax-xogħol tissaħħan taħt pressjoni normali jew vakwu biex tevapora l-impuritajiet volatili fuq il-wiċċ tagħha biex jinkiseb l-iskop tat-tindif. L-effett tat-tindif ta 'dan il-metodu huwa relatat mal-pressjoni ambjentali tal-biċċa tax-xogħol, it-tul tal-ħin li jżomm il-vakwu, it-temperatura tat-tisħin, it-tip ta' sustanzi li jniġġsu u l-materjal tax-xogħol. Il-prinċipju huwa li ssaħħan il-biċċa tax-xogħol biex tippromwovi t-titjib tad-desorbiment tal-molekuli tal-ilma u diversi molekuli tal-idrokarburi assorbiti fuq il-wiċċ tiegħu. Il-grad ta 'titjib tad-desorbiment jiddependi mit-temperatura. Fil-vakwu ultra-għoli, sabiex tinkiseb wiċċ nadif atomikament, it-temperatura tat-tisħin għandha tkun ogħla minn 450 grad, u l-metodu tat-tindif tat-tisħin huwa partikolarment effettiv. Imma xi kultant dan il-metodu għandu effetti sekondarji. Bħala riżultat tat-tisħin, xi idrokarburi jistgħu polimerizzaw f'aggregati akbar u jiddekomponu fi gagazza tal-karbonju fl-istess ħin.
2. Tindif ta 'irradjazzjoni ultravjola
Uża radjazzjoni ultravjola biex tiddekomponi idrokarburi fuq il-wiċċ. Pereżempju, l-esponiment għall-arja għal 15-il siegħa jista 'jipproduċi wiċċ tal-ħġieġ nadif. Jekk wiċċ imnaddaf sewwa jitqiegħed fi sors ultravjola li jipproduċi l-ożonu, jieħu diversi minuti biex jifforma wiċċ nadif (tindif tal-proċess), li juri li l-preżenza tal-ożonu ttejjeb ir-rata tat-tindif. Il-mekkaniżmu ta 'tindif huwa li taħt irradjazzjoni ultravjola, il-molekuli tal-ħmieġ huma eċċitati u dissoċjati, u l-ġenerazzjoni u l-preżenza ta' ożonu jipproduċu ossiġenu atomiku attiv ħafna. Il-molekuli li jniġġsu eċċitati u r-radikali ħielsa ġġenerati mid-dissoċjazzjoni ta 'sustanzi li jniġġsu jirreaġixxu ma' ossiġenu atomiku biex jiġġeneraw molekuli relattivament sempliċi u volatili, bħal H203, CO2, N2, eċċ. Ir-rata ta 'reazzjoni tiżdied biż-żieda tat-temperatura.
3. Tindif ta 'kwittanza
Dan il-metodu ta 'tindif huwa użat ħafna fit-tindif u t-tneħħija ta' sistemi ta 'vakwu għoli u ultra-għoli, speċjalment f'tagħmir ta' kisi bil-vakwu. Bl-użu ta 'wajers sħan jew elettrodi bħala sorsi ta' elettroni u applikazzjoni ta 'preġudizzju negattiv fuq il-wiċċ relattiv biex jitnaddaf, jistgħu jinkisbu d-desorbiment tal-gass u t-tneħħija ta' xi idrokarburi permezz ta 'bombardament tal-joni. L-effett tat-tindif jiddependi fuq il-materjal tal-elettrodu, il-ġeometrija u r-relazzjoni tiegħu mal-wiċċ, jiġifieri, in-numru ta 'joni għal kull unità tal-wiċċ u l-enerġija tal-joni, u b'hekk jiddependi fuq l-enerġija elettrika effettiva. Meta l-kamra tal-vakwu timtela b'gass inert (tipikament gass AR) bi pressjoni parzjali xierqa, il-bombardament tal-joni ġġenerat minn skarika ta 'glow bi pressjoni baxxa bejn żewġ elettrodi xierqa tista' tintuża biex tnaddaf il-kamra tal-vakwu. F'dan il-metodu, il-gass inerti huwa jonizzat u jbambjat il-ħajt ta 'ġewwa tal-kamra tal-vakwu, komponenti strutturali oħra fil-kamra tal-vakwu u s-sottostrat. Xi idrokarburi jistgħu jitnaddfu aħjar jekk l-ossiġnu jiġi miżjud mal-gass mimli. Peress li l-ossiġnu jista 'jossida xi idrokarburi biex jifforma gassijiet volatili, jista' jiġi eskluż faċilment mis-sistema tal-vakwu. Il-komponenti ewlenin ta 'impuritajiet fuq il-wiċċ ta' l-istainless steel b'vakwu għoli u kontenituri ta 'vakwu ultra-għoli huma l-karbonju u l-idrokarburi. Taħt ċirkostanzi normali, il-karbonju ma jistax jivolatilizza waħdu. Wara t-tindif kimiku, AR jew AR + 02 Gass imħallat jeħtieġ li jiġi introdott għat-tindif tal-iskarikar tal-glow. Fit-tindif tal-iskarikar tal-glow, il-parametri l-aktar importanti huma t-tip ta 'vultaġġ applikat (AC jew DC), li jintuża biex jitnaddaf il-wiċċ taż-żebgħa u l-gass li huwa marbut kimikament mal-wiċċ, il-vultaġġ tal-iskarikar, id-densità tal-kurrent, it-tip ta' gass u l-pressjoni, ħin tal-bombardament, forma ta 'elettrodu, materjal, materjal u pożizzjoni tal-partijiet li għandhom jitnaddfu, eċċ.
Iv. Flushing tal-gass
1. Ammonja Flushing
Meta n-nitroġenu jiġi assorbit fuq il-wiċċ tal-materjal, l-enerġija ta 'l-adsorbiment hija żgħira ħafna, u għalhekk il-ħin ta' adsorbiment fuq il-wiċċ huwa qasir ħafna, u anke jekk jiġi assorbit fuq il-ħajt ta 'l-apparat, huwa faċilment ippumpjat' il bogħod. L-użu ta 'din il-karatteristika ta' l-ammonja biex tlaħlaħ is-sistema tal-vakwu jista 'jqassar il-ħin tal-ippumpjar tas-sistema. Jekk il-magna tal-kisi tal-vakwu hija mimlija nitroġenu niexef qabel ma titpoġġa fl-atmosfera, il-ħin tal-ippumpjar taċ-ċiklu tal-ippumpjar li jmiss jista 'jitqassar bi kważi nofs, minħabba li l-enerġija ta' l-adsorbiment tan-nitroġenu hija ħafna iżgħar mill-enerġija ta 'l-adsorbiment tal-molekuli tal-vapor tal-ilma, u wara n-nitroġenu huwa mimli fil-vakwu, il-molecules tan-nitroġenu huma l-ewwel adsorbed. Minħabba li s-siti ta 'adsorbiment huma ċerti u mimlijin bil-molekuli tan-nitroġenu l-ewwel, hemm ftit molekuli ta' ilma adsorbiti, li jqassru l-ħin tal-ippumpjar. Jekk is-sistema tkun ikkontaminata billi t-tixrid taż-żejt mill-pompa tad-diffużjoni, is-sistema kkontaminata tista 'wkoll titnaddaf permezz ta' fwawar tan-nitroġenu. Normalment, meta tkun qed taħmi u ssaħħan is-sistema, is-sistema tista 'titlaħlaħ bin-nitroġenu biex telimina l-kontaminazzjoni taż-żejt.
2. Flushing tal-gass reattiv
Dan il-metodu huwa partikolarment adattat għat-tindif intern ta 'sistemi kbar ta' vakwu tal-istainless steel ultra-għoli (tneħħija ta 'kontaminazzjoni ta' idrokarburi), u ġeneralment huwa adattat għal kmamar tal-vakwu u komponenti tal-vakwu ta 'xi sistemi kbar ta' vakwu ultra-għoli. Sabiex tinkiseb wiċċ nadif fi stat atomiku, il-metodu standard għall-eliminazzjoni tal-kontaminazzjoni tal-wiċċ huwa t-tindif kimiku, il-ħami tal-forn tal-vakwu, it-tindif tal-iskarikar tal-glow, u s-sistema tal-vakwu bil-ħami tal-enerġija atomika. Il-metodi ta 'tindif u tneħħija ta' hawn fuq spiss jintużaw qabel u matul l-installazzjoni tas-sistema tal-vakwu. Wara li s-sistema tal-vakwu tkun installata (jew wara li s-sistema tkun qed topera), huwa diffiċli li titneħħaha minħabba li l-komponenti varji huma diġà ffissati. Ladarba s-sistema tkun ikkontaminata (aċċidentalment) (prinċipalment minn molekuli b'numri atomiċi akbar bħal idrokarburi), ġeneralment tiġi żarmata, ipproċessata u installata mill-ġdid, filwaqt li d-degassing onlajn jista 'jitwettaq bl-użu ta' programm ta 'gass reattiv, li jitneħħa b'mod effettiv il-kontaminanti ta' l-idrokarburi fil-kamra tal-vakwu tal-istainless steel. Il-mekkaniżmu tat-tindif tiegħu: L-introduzzjoni tal-gass ossidanti (02, l-ebda-RRB u t-tnaqqis tal-gass (NH3 NH3) fis-sistema biex tirreaġixxi kimikament u tnaddaf il-wiċċ tal-metall biex telimina l-kontaminanti u tikseb l-istat atomiku tal-wiċċ tal-metall nadif. Ir-rata ta 'ossidazzjoni / tnaqqis tal-wiċċ tiddependi mill-kundizzjonijiet tal-kontaminazzjoni u l-materjal tal-wiċċ tal-metall. Is-substrati, il-parametri preċiżi għal orjentazzjonijiet differenti tal-kristall huma determinati b'mod sperimentali, u dawn il-parametri huma differenti.
