1. Kamra tal-vakwu
Il-kamra tal-vakwu hija l-parti tal-qalba tal-magna tal-kisi tal-vakwu. Il-funzjoni ewlenija tagħha hija li toħloq ambjent bil-vakwu u żżomm il-proċess tal-kisi fi stat ta 'vakwu. Il-kamra tal-vakwu hija ġeneralment magħmula minn materjali tal-istainless steel jew tal-liga tal-aluminju, b'siġillar għoli tal-vakwu u reżistenza għall-korrużjoni.
2. Sistema tal-pompa
Is-sistema tal-pompa hija waħda mill-komponenti ewlenin tal-magna tal-kisi tal-vakwu. Huwa prinċipalment responsabbli għall-estrazzjoni tal-gass fil-kamra tal-vakwu biex il-grad tal-vakwu jilħaq il-grad meħtieġ. Is-sistema tal-pompa hija ġeneralment magħmula minn pompi molekulari, pompi mekkaniċi u pompi ta 'diffużjoni. Kombinazzjonijiet differenti ta 'pompi jistgħu jiksbu gradi vakwu differenti u veloċitajiet ta' ppumpjar.
3. Apparat tal-ikklampjar tas-sottostrat
L-apparat tal-ikklampjar tas-sottostrat huwa komponent importanti ieħor tal-magna tal-kisi tal-vakwu. Jintuża biex jiffissa l-materjal tas-sottostrat biex ikun miksi u jikkontrolla l-pożizzjoni u t-trajettorja tal-moviment tiegħu. L-apparat tal-ikklampjar tas-sottostrat huwa ġeneralment magħmul minn tabella li ddur, mekkaniżmu ta 'rfigħ u morsa tas-sottostrat. Klampi differenti jistgħu jadattaw għal substrati ta 'forom u daqsijiet differenti.
4. Sistema ta 'tisħin
Is-sistema tat-tisħin hija komponent meħtieġ fil-magna tal-kisi tal-vakwu. Jista 'jsaħħan is-sottostrat u l-materjal tal-kisi biex jippromwovi l-formazzjoni tal-kisi u jtejjeb il-kwalità tiegħu. Is-sistema tat-tisħin hija ġeneralment implimentata minn wajer tar-reżistenza, tisħin elettromanjetiku, tisħin ta 'induzzjoni u metodi oħra.
5. Sors tal-Kisi
Is-sors tal-kisi huwa l-aħħar komponent fil-magna tal-kisi tal-vakwu. Jintuża biex jipprovdi l-materjal li jeħtieġ li jkun miksi, ġeneralment inklużi metalli, ċeramika, silikon u materjali oħra. Is-sors tal-kisi jista 'jiddepożita l-materjal fuq is-sottostrat permezz ta' raġġ ta 'elettroni, evaporazzjoni, sputtering u metodi oħra biex jifforma l-kisi meħtieġ.
Sommarju: Il-magna tal-kisi tal-vakwu hija apparat użat biex jimmanifattura kisi ta 'kwalità għolja, li fih il-kamra tal-vakwu, is-sistema tal-pompa, l-apparat tal-ikklampjar tas-sottostrat, is-sistema tat-tisħin u s-sors tal-kisi huma l-komponenti ewlenin tagħha. Dawn il-komponenti jaħdmu flimkien biex jimlew il-proċess ta 'preparazzjoni tal-kisi.
