Ħafna klijenti huma konfużi meta jixtruMagni tal-kisi bil-vakwu. Jafu x'tip u mudell ta' magna tal-kisi għandhom bżonn, iżda ma jistgħux jiddeterminaw liema standards għandha tissodisfa l-magna biex titqies ta' kwalità tajba u ta'-kwalità għolja. Din il-konfużjoni twassalhom biex jieħdu ħafna dawriet. Hawn taħt, Puyuan Vacuum se jipprovdi introduzzjoni dettaljata għar-rekwiżiti tekniċi bażiċi li magna tal-kisi bil-vakwu għandha tissodisfa.
Evaporazzjoni bil-vakwu, Ionizzazzjoni tal-Katodu, Sputtering tal-Magnetron:
1.L-istruttura tal-pipelines tal-vakwu u l-komponenti statiċi tas-siġillar fit-tagħmir għandhom jikkonformaw ma 'GB/T6070.
2.Gauges tal-kejl tal-vakwu għandhom jiġu installati fuq il-pipelines tal-vakwu baxx-vakwu għoli- u fuq il-kamra tal-kisi tal-vakwu biex jitkejjel il-livell tal-vakwu f'kull post. Jekk tinstab interferenza mill-kamp elettriku, għandu jiġi installat apparat tal-ilqugħ tal-kamp elettriku fil-port tal-kejl.
3.Jekk il-pompa prinċipali użata fit-tagħmir tal-kisi PVD hija pompa tad-diffużjoni, għandha tiġi installata nassa tal-fwar taż-żejt fuq in-naħa tad-daħla tal-pompa.
4. Il-kamra tal-kisi tat-tagħmir tal-kisi bil-vakwu għandha tkun mgħammra b'tieqa ta 'osservazzjoni u apparat baffle. It-tieqa tal-osservazzjoni għandha tippermetti l-osservazzjoni tal-istatus tax-xogħol tas-sors tad-depożizzjoni u komponenti kritiċi oħra.
5. Id-disinn tas-sors ta 'depożizzjoni tal-kisi tal-jone għandu jimmassimizza r-rata ta' jonizzazzjoni matul il-proċess tal-kisi, itejjeb ir-rata ta 'utilizzazzjoni tal-materjal tal-kisi, jaqbel b'mod razzjonali mal-qawwa tas-sors ta' depożizzjoni, u jirranġa b'mod razzjonali l-pożizzjoni tas-sors ta 'depożizzjoni fi ħdan il-kamra tal-vakwu.
6.L-apparat tat-tisħin għandu jkun irranġat b'mod razzjonali; ġeneralment, it-tqassim tal-istruttura tal-heater għandu jiżgura żieda uniformi fit-temperatura tal-biċċa tax-xogħol li qed tiġi indurati.
7. Id-detentur tal-biċċa tax-xogħol għandu jkun iżolat mill-kamra tal-vakwu, u d-disinn tad-detentur tal-biċċa tax-xogħol għandu jiżgura li s-saff tal-film tal-biċċa tax-xogħol ikun uniformi.
8. Magni tal-kisi bil-vakwu tal-jone għandu ġeneralment ikollhom vultaġġ ta 'bias negattiv tal-biċċa tax-xogħol u provvista ta' enerġija ta 'bumbardament tal-jone. Il-provvista tal-enerġija tal-bumbardament tal-jone għandu jkollha apparat biex irażżan l-iskarigu anormali u żżomm tħaddim stabbli.
9.Il-valuri tar-reżistenza tal-insulazzjoni bejn partijiet differenti tal-kamra tal-vakwu konnessi ma 'potenzjali differenti għandhom jikkonformaw ma' 4.4.6 ta 'GB/T11164-1999.
10. Prekawzjonijiet oħra
(1) Temperatura ambjentali: 10-30 grad
(2) Umdità relattiva: mhux akbar minn 75%
(3) Temperatura tad-dħul tal-ilma li jkessaħ: mhux ogħla minn 25 grad
(4) Kwalità tal-ilma li jkessaħ: ilma tal-vit muniċipali jew ilma ta 'kwalità ekwivalenti.
(5) Provvista ta 'enerġija: 380V three-phase 50Hz jew 220V single-phase 50Hz (skont l-apparati elettriċi użati); firxa tal-varjazzjoni tal-vultaġġ: 342-399V jew 198-231V; firxa tal-varjazzjoni tal-frekwenza: 49-51Hz.
(6) Il-pressjoni, it-temperatura u l-konsum ta 'arja kkompressata, nitroġenu likwidu, ilma kiesaħ, ilma sħun, eċċ., Meħtieġa mit-tagħmir għandhom jiġu speċifikati fil-manwal ta' struzzjoni tal-prodott.
(7) L-ambjent tal-madwar tat-tagħmir għandu jkun nadif u l-arja għandha tkun ħielsa minn trab jew gassijiet li jistgħu jikkawżaw korrużjoni ta 'komponenti elettriċi jew partijiet oħra tal-metall, jew konduzzjoni bejn metalli.
