Prinċipju ta 'Ħidma tal-Vacuum Gauge fil-Magni tal-Kisi PVD

Jan 16, 2026

Ħalli messaġġ

PVD coating machine vacuum technology

 

 

Gauge tal-vakwu tal-jonizzazzjoni huwa komponent ewlieni għall-kejl tal-vakwu għoli. Jiddetermina l-livell tal-vakwu billi jonizza molekuli tal-gass u jkejjel il-fluss tal-jone li jirriżulta. Ibbażat fuq il-metodi ta 'jonizzazzjoni differenti, huwa prinċipalment maqsum fiż-żewġ kategoriji li ġejjin:

 

Wieħed. Gauge tal-vakwu tal-jonizzazzjoni tal-katodu sħun

Prinċipju ta 'Ħidma: Filament imsaħħan (katodu) jarmi elettroni termjoniċi. Dawn l-elettroni jiksbu biżżejjed enerġija hekk kif itiru lejn il-grilja ta 'l-anodu, jaħbtu ma' molekuli tal-gass u jonizzawhom. Il-kurrent tal-jone li jirriżulta huwa mkejjel fl-elettrodu tal-ġbir; dan il-kurrent huwa proporzjonali għall-pressjoni tal-gass.

 

Vantaġġi:Kejl preċiż, stabbiltà tajba, u linearità eċċellenti; hija l-għażla mainstream għal kejl ta 'vakwu għoli.

Żvantaġġi:

Effett tar-raġġi X-: Elettroni li jolqtu l-grilja ta' l-anodu jiġġeneraw raġġi X-artab, li jirradjaw l-elettrodu tal-kollettur, li jikkawżaw emissjoni ta' fotoelettroni u joħolqu "kurrent ta' sfond" indipendenti mill-pressjoni-. Dan jikkawża li l-pressjonijiet imkejla jiddevjaw mill-pressjoni vera taħt vakwu ultra-għoli (bejn wieħed u ieħor<10⁻⁸ Pa).

Tneħħija kimika: It-temperatura għolja tal-filament tikkawża li molekuli tal-gass reattivi (bħal ossiġnu) jiddissoċjaw u jiġu adsorbiti, u joħloq "effett vakwu" li jaffettwa l-pressjoni attwali.

Filament burnout risk: Under higher pressures (e.g., >10⁻² Pa) jew espożizzjoni f'daqqa għall-atmosfera, il-filament inkandexxenti huwa suxxettibbli għall-ossidazzjoni u l-ħruq.

 

Żewġ. Kejl tal-vakwu tal-jonizzazzjoni tal-katodu kiesaħ

Prinċipju ta' Ħidma: L-użu ta' kamp elettriku ta' -vultaġġ għoli biex jinduċi skarigu fil-vakwu (il-katodu kiesaħ mhux imsaħħan), u l-applikazzjoni ta 'kamp manjetiku estern. L-elettroni, taħt l-influwenza magħquda tal-kampijiet elettriċi u manjetiċi (forza ta 'Lorentz), jgħaddu minn mozzjoni helical, u żżid ħafna l-probabbiltà ta' jonizzazzjoni permezz ta 'ħabtiet ma' molekuli tal-gass, li jiffurmaw skariku tal-plażma li jsostni lilhom infushom. Il-fluss tal-joni huwa proporzjonali għall-pressjoni.

 

Vantaġġi:Struttura robusta, mingħajr filament sħun, reżistenti għall-impatt atmosferiku, ħajja twila.

L-ebda limitazzjoni tal-kurrent fl-isfond tar-raġġi X-, li tippermetti l-kejl ta' livelli ogħla ta' vakwu (tipikament fl-ordni ta' 10⁻¹² Pa).

Żvantaġġi:
Stabbiltà tal-iskarika: L-iskariku jista 'jkun instabbli fi pressjonijiet baxxi, anke juri fenomeni ta' "dewmien ta 'discharge" jew "flameout".

Sensittività għall-Kontaminazzjoni: Il-kontaminazzjoni tal-wiċċ tal-katodu tista 'taffettwa severament l-emissjoni tal-elettroni, li twassal għal kejl mhux preċiż.

Interferenza qawwija fil-Qasam Manjetiku: Il-kamp manjetiku qawwi tal-vacuum gauge stess jista 'jinterferixxi mat-tagħmir tal-madwar (bħal sorsi tal-joni); post ta 'installazzjoni jeħtieġ konsiderazzjoni bir-reqqa.

Ibgħat l-inkjesta
IkkuntattjanaJekk għandek xi mistoqsija

Tista 'jew tikkuntattjana permezz tat-telefon, l-email jew il-formola onlajn hawn taħt. L-ispeċjalista tagħna se jikkuntattjak lura dalwaqt.

Ikkuntattja issa!