Komunitagħmir ta' kisi bil-vakwu tal-kisi bil-vakwu ta' multi-arc ion platingjuża jew bumbardament bl-ark jew tindif tal-jone tal-argon. X'inhuma d-differenzi speċifiċi bejn it-tnejn?
Wieħed huwa tindif tal-jone tal-metall, u l-ieħor huwa tindif tal-jone tal-gass; il-livelli tal-enerġija huma differenti, u l-prinċipji huma wkoll differenti. Illum, Puyuan Vacuum jagħtik introduzzjoni dettaljata:
Il-kisi tal-jone multi-ark juża metodu ta' skarigu ta' ark elettriku biex jevapora direttament il-metall fuq mira ta' katodu solidu. Il-materjal evaporat jikkonsisti minn joni mill-materjal tal-katodu emess waqt il-ħruġ tal-ark tal-katodu. Dan l-apparat ma jeħtieġx pool imdewweb; il-mira li trid tiġi evaporata hija konnessa mal-katodu, u l-kamra tal-vakwu taġixxi bħala l-anodu. Meta l-elettrodu tal-grillu jikkuntattja f'daqqa u istantanjament il-mira tal-katodu, jiġi indott ark, li jiġġenera post tal-ark tal-katodu jgħajjat luminuż fuq il-wiċċ tal-katodu. Id-dijametru tal-post huwa inqas minn 100µm, u d-densità tal-kurrent fi ħdan il-post tista 'tilħaq 10³ ~ 10⁷ A/cm². Il-materjal f'dan ir-reġjun imbagħad jevapora istantanjament u jonizza. Il-post tal-ark tal-katodu jiċċaqlaq b'mod każwali fuq il-wiċċ tal-katodu b'veloċità ta 'għexieren ta' metri kull sekonda. Jintuża kamp manjetiku estern biex jikkontrolla t-trajettorja u l-veloċità tal-post. Biex jinżamm l-ark tal-vakwu, ġeneralment ikun meħtieġ vultaġġ ta '-20 sa -40 V.
Il-prinċipju tal-plating tal-jone multi-ark huwa bbażat fuq it-teorija tal-iskarigu tal-ark tal-vakwu tal-katodu kiesaħ, li tipposponi li t-trasferiment ta 'ċarġ matul il-proċess ta' kwittanza jinkiseb permezz tal-eżistenza simultanja u r-restrizzjoni reċiproka ta 'żewġ mekkaniżmi: emissjoni tal-elettroni tal-kamp u kurrent tal-jone pożittiv. Matul il-proċess ta 'kwittanza, ammont kbir ta' materjal tal-katodu jevapora. Il-joni pożittivi ġġenerati minn dawn il-molekuli tal-fwar joħolqu kamp elettriku estremament qawwi f'distanza qasira ħdejn il-wiċċ tal-katodu. Taħt l-influwenza ta 'dan il-kamp elettriku qawwi, l-elettroni jiġu emessi fil-vakwu bħala elettroni tal-kamp. Il-joni pożittivi jistgħu jammontaw għal madwar 10% tal-kurrent tal-ark totali. Il-joni tal-metall attirati lejn il-wiċċ tal-katodu jiffurmaw saff ta 'ċarġ tal-ispazju, li min-naħa tiegħu jiġġenera kamp elettriku qawwi, li jikkawża li punti fuq il-wiċċ tal-katodu b'funzjoni baxxa ta' xogħol (konfini tal-qamħ jew xquq) jibdew jarmu elettroni. Punti individwali b'densità għolja ta 'emissjoni ta' elettroni għandhom densità għolja ta 'kurrent. It-tisħin Joule jgħolli t-temperatura, jiġġenera elettroni termjoniċi, u jkompli jżid l-emissjoni tal-elettroni. Dan l-effett ta 'feedback pożittiv jikkawża konċentrazzjoni ta' kurrent lokalizzata.
It-tisħin Joule iġġenerat minn din il-konċentrazzjoni ta 'kurrent lokalizzata tikkawża formazzjoni ta' plażma splussiva lokalizzata fuq il-wiċċ tal-materjal tal-katodu, li jarmu elettroni u joni u tħalli marki ta 'skariku. Il-partiċelli tal-materjal tal-katodu imdewweb huma wkoll rilaxxati. Uħud mill-joni emessi huma attirati lura lejn il-wiċċ tal-katodu, u jiffurmaw saff ta 'ċarġ spazjali, li jiġġeneraw kamp elettriku qawwi, li mbagħad jikkawża punti ġodda b'funzjoni ta' xogħol baxxa biex jibdew jarmu elettroni.
It-teknoloġija tat-tagħmir tal-kisi bil-vakwu tal-kisi tal-jone multi-ark għandha l-karatteristiċi li ġejjin:
Vantaġġi: Jista 'jiġi installat b'mod arbitrarju biex jiżgura ħxuna uniformi tal-film. Kamp manjetiku estern itejjeb il-ħruġ tal-ark; ikisser l-ark; iżid il-veloċità tar-rotazzjoni; jirfina partiċelli tal-film; u taċċellera partiċelli ċċarġjati. Ir-rata għolja ta 'jonizzazzjoni tal-metall hija ta' benefiċċju għall-uniformità u l-adeżjoni tal-film, u tagħmilha l-aħjar proċess għall-kisi tal-jone. Ark wieħed iservi għal skopijiet multipli: jaġixxi bħala sors ta' evaporazzjoni, sors ta' purifikazzjoni qabel-bombardament, u sors ta' jonizzazzjoni.
Żvantaġġi: F'qawwa għolja, partiċelli kbar tal-metall huma ġġenerati faċilment, li jaffettwaw il-kwalità tal-kisi; u l-instabbiltà tal-iskarigu tal-ark isseħħ fuq xi materjali fil-mira.
Metodi biex titnaqqas il-ġenerazzjoni tal-qtar jinkludu: it-tnaqqis tad-densità tal-qawwa tal-iskarika, iż-żieda tal-veloċità tal-post tal-ark, it-tisħiħ tal-miżuri tat-tkessiħ tal-katodu, u l-użu ta 'filtrazzjoni manjetika.
