L-ewwel, irridu niċċaraw li l-kontaminazzjoni tal-kamra tal-vakwu essenzjalment tinvolvi impuritajiet varji (fwar tal-ilma, idrokarburi, trab, grass, eċċ.) li jeħel mal-ħitan tal-kamra jew l-uċuħ tal-komponenti interni, li jiffurmaw sorsi ta 'gass u fwar li jfixklu l-bilanċ tal-ambjent tal-vakwu. Dawn il-kontaminanti ġejjin minn firxa wiesgħa ta 'sorsi, inklużi fluwidu tal-qtugħ residwu u lubrikant mill-ipproċessar tal-biċċa tax-xogħol, għaraq bl-idejn waqt it-tħaddim, trab fl-arja, u anke impuritajiet ta' traċċa introdotti mill-pompa tal-vakwu jew volatili mill-materjal jew sottostrat fil-mira. Irrispettivament mit-tip ta 'kontaminazzjoni, l-istrateġija tal-irkupru tal-qalba hija "preċiżament tneħħi l-impuritajiet mingħajr ma tagħmel ħsara lill-materjal tal-kamra u tirrestawra l-ambjent tal-vakwu." Tipi differenti ta 'kontaminazzjoni jeħtieġu metodi differenti ta' rkupru.
Metodu 1: Tisħin biex "Jevapora" l-Impuritajiet - Metodu ta 'Tindif tat-Tisħin bil-Vakwu Dan huwa l-metodu ta' restawr l-aktar bażiku u użat b'mod komuni. Il-prinċipju huwa sempliċi ħafna: bħat-tnixxif tal-ħwejjeġ bi tbajja 'l-ilma, it-tisħin jikkawża li impuritajiet volatili (bħal fwar ta' l-ilma u idrokarburi ħfief) fuq il-wiċċ tal-kavità jevaporaw, u mbagħad jitneħħew permezz ta 'pompa tal-vakwu, u b'hekk jinkiseb tindif.
Metodu 2: "Dekompożizzjoni" ultravjola ta' kontaminanti - Metodu ta' tindif bl-irradjazzjoni ultravjola. Jekk il-kontaminazzjoni tal-kavità hija magħmula prinċipalment minn idrokarburi (bħal żejt lubrikanti residwu u pollutanti organiċi), il-metodu tat-tindif bl-irradjazzjoni ultravjola se jkun aktar effiċjenti. Barra minn hekk, ma jkunx-kuntatt u mhux-ħsara matul il-proċess kollu, li jagħmilha partikolarment adattata għal xenarji b'rekwiżiti materjali estremament għoljin, bħal kavitajiet ottiċi ta 'preċiżjoni u kavitajiet vakwu semikondutturi.
Metodu 3: Dekontaminazzjoni tal-Ion "Bombardment" - Metodu ta' Tindif ta' Skarika. Għal vakwu għoli u vakwu ultra-għoli (bħal tagħmir ta 'kisi bil-vakwu u kavitajiet ta' impjantazzjoni tal-jone semikondutturi), il-kontaminazzjoni ħafna drabi hija aktar stubborn, speċjalment karbonju u idrokarburi fuq il-wiċċ ta 'kavitajiet tal-istainless steel, li huma diffiċli biex jitneħħew b'metodi ordinarji. F'dan il-każ, huwa meħtieġ metodu ta 'tindif tal-iskariku, li huwa wkoll il-metodu ewlieni għar-restawr fil-fond tal-kavitajiet tal-vakwu.
Metodu 4: "Flashing" tal-gass 'il bogħod mill-impuritajiet - Metodu tal-flushing tal-gass Jekk il-kavità hija biss ftit ikkontaminata, jew jekk ikun meħtieġ irkupru rapidu u tqassir tal-ħin ta' evakwazzjoni, il-flushing tal-gass hija l-aħjar għażla. Huwa maqsum fi fwawar tan-nitroġenu u flushing tal-gass reattiv, li huma adattati għal xenarji differenti.
Għandha ssir enfasi fuq il-protezzjoni ta' wara-kontaminazzjoni: Wara r-restawr, il-kavità għandha tinżamm 'il bogħod miż-żejt u t-trab. Għandhom jittieħdu miżuri protettivi waqt it-tħaddim, u l-pompa tal-vakwu għandha tinżamm regolarment biex titnaqqas il-possibbiltà ta 'kontaminazzjoni mill-ġdid. Dan huwa speċjalment importanti f'oqsma b'rekwiżiti ta 'indafa estremament għoljin, bħal semikondutturi u aerospazjali, fejn l-indafa tal-kavità tiddetermina direttament il-ħajja u l-prestazzjoni tal-prodott. L-indafa tal-kavità tal-vakwu hija l-"linja tas-salvataġġ" tal-proċessi tal-vakwu high-. Fil-fatt, billi nikkontrollaw dawn l-erba 'metodi ta' restawr tal-qalba u tagħżel b'mod flessibbli l-metodu xieraq ibbażat fuq il-grad ta 'kontaminazzjoni u l-materjal tal-kavità, il-problemi ta' kontaminazzjoni tal-kavità jistgħu jissolvew faċilment, u jiżguraw tħaddim stabbli tas-sistema tal-vakwu. Bl-iżvilupp ta 'l-industrija tal-manifattura ta' preċiżjoni, it-teknoloġija tat-tindif bil-vakwu qiegħda wkoll ttejjeb kontinwament, minn tindif tradizzjonali tat-tisħin għal skariku li jirrispetta l-ambjent u effiċjenti u tindif tal-plażma. Aktar u aktar metodi qed jissalvagwardjaw l-indafa tal-kavitajiet tal-vakwu, u jipproteġu l-manifattura ta'-livell għoli.
Merħba żur it-Tiktok tagħnahttps://www.tiktok.com/@vacuum.coatingmachine għal aktar vidjows tal-magni, grazzi.
